近日，睿勵科學儀器宣布完成近5億元戰(zhàn)略融資，本輪融資由金石投資和招商致遠聯(lián)合領投，河南資產、金信資本、鼎青投資等跟投。所融資金主要用于進一步提升先進半導體制程用的光學量檢測設備的國產替代能力，豐富產品種類，加大市場開拓力度能力。
睿勵科學儀器是一家集成電路工藝檢測設備供應商，從事集成電路生產制造工藝檢測設備的開發(fā)和研制，為用戶提供光學測量設備、光學關鍵尺寸分析系統(tǒng)、鎵液態(tài)離子源、缺陷檢測、等離子體灰化等產品，廣泛用于科學儀器、微電子等領域，目前擁有的主要產品包括光學檢測設備、硅片厚度及翹曲測量設備及子公司宏觀缺陷檢測設備等。
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