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Intel 10nm工藝揭秘:晶體管密度比肩臺(tái)積電/三星7nm

2018/06/14 15:00      快科技 上方文Q


  Intel 14nm工藝已經(jīng)連續(xù)用了三代,還要再用一次,10nm則因?yàn)榱计仿适冀K無(wú)法達(dá)到滿意程度而一再推遲,現(xiàn)在跳票到了2019年,而且上半年還是下半年Intel自己都不確定。

  相比之下,臺(tái)積電、三星已經(jīng)開(kāi)始量產(chǎn)7nm,GlobalFoundries 7nm也不遠(yuǎn)了。

  Intel的技術(shù)真的不行了?顯然不是。雖然都叫xxnm,但是對(duì)比之下,Intel無(wú)疑是最為嚴(yán)謹(jǐn)?shù),一直在追求最高的技術(shù)指標(biāo),也正因?yàn)槿绱嗽偌由习雽?dǎo)體工藝難度急劇增加,Intel 10nm才一直難產(chǎn)。

  目前,Intel 10nm處理器已經(jīng)小批量出貨,已知產(chǎn)品只有一款低壓低功耗的Core i3-8121U,由聯(lián)想IdeaPad 330筆記本首發(fā)。

  TechInsight分析了這顆處理器,獲得了一些驚人的發(fā)現(xiàn),直接證實(shí)了Intel新工藝的先進(jìn)性。

  分析發(fā)現(xiàn),Intel 10nm工藝使用了第三代FinFET立體晶體管技術(shù),晶體管密度達(dá)到了每平方毫米1.008億個(gè)(符合官方宣稱),是目前14nm的足足2.7倍!

  作為對(duì)比,三星10nm工藝晶體管密度不過(guò)每平方毫米5510萬(wàn)個(gè),僅相當(dāng)于Intel的一半多點(diǎn),7nm則是每平方毫米1.0123億個(gè),勉強(qiáng)高過(guò)Intel 10nm。

  至于臺(tái)積電、GF兩家的7nm,晶體管密度比三星還要低一些。

  換言之,僅就晶體管集成度而言,Intel 10nm的確和對(duì)手的7nm站在同一檔次上,甚至還要更好!

  另外,Intel 10nm的最小柵極間距(Gate Pitch)從70nm縮小到54nm,最小金屬間距(Metal Pitch)從52nm縮小到36nm,同樣遠(yuǎn)勝對(duì)手。

  事實(shí)上與現(xiàn)有其他10nm以及未來(lái)的7nm相比,Intel 10nm擁有最好的間距縮小指標(biāo)。

  Intel 10nm的其他亮點(diǎn)還有:

  - BEOL后端工藝中首次使用了金屬銅、釕(Ru),后者是一種貴金屬

  - BEOL后端和接觸位上首次使用自對(duì)齊曝光方案(self-aligned patterning scheme)

  - 6.2-Track高密度庫(kù)實(shí)現(xiàn)超級(jí)縮放(Hyperscaling)

  - Cell級(jí)別的COAG(Contact on active gate)技術(shù)

  當(dāng)然了,技術(shù)指標(biāo)再先進(jìn),最終也要轉(zhuǎn)換成有競(jìng)爭(zhēng)力的產(chǎn)品,才算數(shù)。

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